氦质谱检漏泄漏率介绍

为什么氦被用作示宗气体？

氦的特性:

分子量小，活跃。

空气中含量小:5PPM。

氦是惰性气体，无毒无害。

对于枪法，基于大气中的氦含量，背景值通常通过调节针阀调整到-6级来定性泄漏测量；对于真空法，可以定量测量泄漏。

检漏仪三大模块：

1.真空系统。

前泵+分子泵组合成真空系统，以获得高真空。

2.检测系统。

阀门、内置漏孔、氦质谱室。

3.电路系统。

电信号控制系统由主板、电源板、分子泵驱动板、通信板组成。

真空法

基本方法比较：注：空气中约5ppm氦气成分。

注：注：

建议每月对检漏仪进行校准检查；

氦检仪工作时必须放在水平地面上，不得移动；

上部检测口不能在TEST状态下打开，只能在VENT状态下打开；

四种常见的氦质谱检漏方法的检测原理、优缺点及检测标准：

氦质谱检漏法是利用氦质谱检漏仪的氦分压力测量原理，实现被检件的氦泄漏测量。当被检件密封面有漏孔时，表示泄漏气体氦等成分的气体会从漏孔中泄漏。泄漏气体进入氦质谱检漏仪后，由于氦质谱检漏仪的选择性识别能力，只给出气体中氦分压信号值。在获得氦信号值的基础上，通过标准漏孔比较，可以获得氦泄漏量。

氦质谱检漏法可分为真空法、正压法、真空压力法和背压法。总结了这四种氦质谱检漏法的检测原理、优缺点和标准。

真空法氦质谱检漏。

采用真空法泄漏检测，需要使用辅助真空泵或泄漏检测器对被检产品内部密封室进行真空，采用氦罩或喷雾法在被检产品外表面施加氦气。当被检产品表面有泄漏时，氦气将通过泄漏进入被检产品内部，然后进入氦质谱泄漏检测仪，从而实现被检产品的泄漏测量。根据泄漏气体的不同方法，真空法可分为真空喷雾法和真空氦罩法。其中，真空喷雾法通过喷枪向被检产品外表面喷洒氦气，可实现漏洞的准确定位；真空氦罩法采用具有一定密封功能的氦罩覆盖所有被检产品，覆盖一定浓度的氦气，可实现被检产品总泄漏率的测量。

真空法具有检测灵敏度高、定位准确、检漏大容器或结构复杂的优点。

真空法的检测标准主要包括QJ3123-2000氦质谱真空泄漏检测方法、GB/T15823-2009氦泄漏检测，主要用于真空密封性能要求，单车、环境模拟设备等真空密封性能要求。

正压法氦质谱检漏。

采用正压法检漏时，需要将被检产品内部密封室充入大气压力以上的氦气。当被检产品表面有漏洞时，氦气会通过漏洞进入被检外表面周围的大气环境，然后通过吸枪检测被检产品周围大气环境中氦气浓度的增加，从而实现被检产品的泄漏测量。根据氦气收集方法的不同，正压法可分为正压吸枪法和正压积累法。其中，正压吸枪法采用泄漏探测器对被检产品外表面进行扫描探测，可实现漏洞的准确定位；正压积累法采用具有一定密封功能的氦罩覆盖所有被检产品，用泄漏探测器测量一段时间前后氦罩内氦浓度的变化，实现被检产品总泄漏率的准确测量。

正压法的优点是不需要辅助真空系统，可以精确定位，实现任何工作压力下的检测。

正压法的检测标准主要包括QJ3089-1999《氦质谱正压泄漏检测方法》、QJ2862-1996《压力容器焊接氦质谱吸枪罩盒泄漏检测方法》，主要用于高压氦气瓶、舱门检漏仪等大容量高压封闭容器产品的泄漏检测。

真空压力法氦质谱检漏。

当采用真空压力法泄漏检测时，需要将被检测产品整体放入真空密封室，真空密封室与辅助空气系统和泄漏检测器连接，被检测产品的充气接口通过连接管引出真空密封室，然后与氦源连接，当被检测产品表面有泄漏时，氦通过泄漏进入真空密封室，然后进入氦谱泄漏检测器，实现被检测产品总泄漏率的测量。

真空压力法的优点是检测灵敏度高，能实现任何工作压力的泄漏率检测，反映被检件的真实泄漏状态。

真空压力法的检测标准包括GB/T15823-2009氦泄漏检测，主要用于电磁阀、高压充气管道、推进剂储箱、天线、应答器、整星产品等结构简单、压力不是特别高的密封产品。

背压法氦质谱检漏。

当使用背压检漏时，首先将被检产品放入高压氦室，浸泡数小时或数天。如果被检产品表面有漏孔，氦通过漏孔压入被检产品内部密封腔，增加内部密封腔内氦的压力。然后取出被检验产品，吹出表面残余氦，将被检验产品放入与泄漏检验仪相连的真空容器中。被检验产品内部密封腔内的氦通过漏孔泄漏到真空容器中，然后进入氦质谱泄漏检验仪，实现被检验产品的总泄漏率测量。泄漏检验仪给出的泄漏值为测量泄漏率，需要通过转换公式计算被检验产品的等效标准泄漏率。

背压法的优点是检测灵敏度高，可实现小型密封容器产品的泄漏检测，可进行批量检测。

背压检漏标准主要包括QJ3212-2005《氦质谱背压检漏方法》、GJB360A-1996《电子电气元件试验方法112密封试验》，主要用于各种电子元件产品的检漏。

涉及测试：低泄漏测试