能谱扫描

原理：当X射线光子进入检测器后，在Si（Li）晶体内激发出一定数目的电子空穴对。产生一个空穴对的最低平均能量ε是一定的（在低温下平均为3.8ev），而 由一个X射线光子造成的空穴对的数目为N=△E/ε，因此，入射X射线光子的能量越高，N就越大。利用加在晶体两端的偏压收集电子空穴对，经过前置放大器 转换成电流脉冲，电流脉冲的高度取决于N的大小。电流脉冲经过主放大器转换成电压脉冲进入多道脉冲高度分析器，脉冲高度分析器按高度把脉冲分类进行计数， 这样就可以描出一张X射线按能量大小分布的图谱。

         利用不同元素的X射线光子特征能量不同进行成分分析。能谱分析仪（EDS）是微区成份分析的主要手段之一。通常EDS检测限为0.1%-0.5%（元素含量）。EDS的能量分辨率：～130eV。

1）、能快速、同时对各种试样的微区内Be-U的所有元素，元素定性、定量分析，几分钟即可完成。

2）、对试样与探测器的几何位置要求低，可以在低倍率下获得X射线扫描、面分布结果。

3）、能谱所需探针电流小：对电子束照射后易损伤的试样，例如生物试样、快离子导体试样、玻璃等损伤小。

4）、检测限一般为0.1%－0.5%，中等原子序数的无重叠峰主元素的定量相误差约为2%。

EDS分析方法----点分析法

电子束（探针）固定在试样感兴趣的点上，进行定性或定量分析。该方法准确度高，用于显微结构的成份分析，对低含量元素定量的试样，只能用点分析。

EDS的分析方法－线扫描分析

电子束沿一条分析线进行扫描时，能获得元素含量变化的线分布曲线。结果和试样形貌像对照分析，能直观地获得元素在不同相或区域内的分布。

EDS的分析方法－面分布

电子束在试样表面扫描时，元素在试样表面的分布能在屏幕上以亮度（或彩色）分布显示出来（定性分析），亮度越亮，说明元素含量越高。研究材料中杂质、相的分布和元素偏析常用此方法。面分布常常与形貌对照分析。

某试样EDS检测(未镀膜）

某试样EDS检测（镀膜）

定量分析对试样的要求

1）样品在真空和电子束轰击下要稳定；

2）高准确度的分析时,要求试样分析面平、垂直于入射电子束；

3）试样尺寸大于X射线扩展范围；

4）有良好的导电和导热性能。

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